I. Vakuum in der Targetkammer erzeugen (falls notwendig)
1. Vertraut machen mit den Bauteilen innerhalb der Kammer, insbesondere
Targethalter
2. Verschließen und Abpumpen der Kammer
3. Vakuumsteuerung (siehe Ablaufplan an der Anlage)
- Motorventil 1 auf
- Vorpumpe ein
- Kühlwasser auf
PVV < 1x10-1 mbar Turbopumpen schalten
sich selbststätig ein
- Zwischenventil Kammer-ESA (handbetätigt) auf
- Durchgangsventil auf
- Durchgangsventil DV2 (Motor) auf
PHV < 10-5 mbar
4. Anlage ist betriebsbereit
5. Durchgangsventil DV4 auf, sofern der Ionenstrahl zur
Verfügung steht !!
II. Inbetriebnahme aller Geräte
1. EigenbauIII. Justage des Targethalters nebst Probe zum Ionenstrahl
- Hauptschalter ein - Monitor ein "Start"-Taster kurz betätigen - Sekundärelektronenunterdrückung ein - Schwellwertgeber (Fallblende) ein 2. Schwingkondensatorelektrometer VA-J-51 ein Meßbereich: 3000 mV Polarität: + Komp. Grob: 100 mV Eing. Widerstand: 3 3. Strahlungsmeßgerät 20026 (Zähler) ein - Hochspannung ein Helipot: 3,5 (700 V) Pegel: 0,2 alle Einstellungen sind markiert 4. Impulsdichtemesser VA-D-440 ein Meßbereich: 1,8x105 (je nach Impulsrate) Komp. 0 ; 8 % 5. Digitalmultimeter 195 A ein Bereich: Volts Auto 6. Hochspannungsnetzgerät ( 15 kV) ein (unter dem Tisch) Umax: ca. 3,00 V (Potentiometer) 7. Computer u. Drucker (falls aus) ein
1. Laser in den Strahlengang einspiegeln
Stange - linke Seite - in Richtung ankommender Ionenstrahl drücken;
über Prisma wird Laser eingekoppelt.
2. Fallblende auf (System II)
Druckknopf (rechts neben der Targetkammer)
3. Probe zum Laser positionieren
Beobachtung des Laserflecks auf der Probenoberfläche im Spiegel,
evtl. leicht abdunkeln; Licht in der Targetkammer aus
4. Proben-Nr. notieren
5. Fallblende zu
6. Laser aus Strahlengang schwenken
Stange zurückziehen
7. Start Computerprogramm
IV. Ablaufdiagramm - RBS-Meßprogramm
Start Enter - Select port Ctrl F2 - Bildschirm und Speicher löschen F 1 - aquire "on" (Meßbereitschaft herstellen) Alt O - Option "Call a user program" Enter - rbs_fp.exe Enter - Bildschirm "Menü" Daten- - Benutzerkennung: fp ; Proben-Nr. eingabe - alle anderen Daten ändern oder mit Enter bestätigen Enter Daten okay ? Enter - Bildschirm "RBS-Mess" F 3 - Einstellen von "Umax" (vorgegeben am Netzgerät) - mehrmals Betätigung der Pfeiltasten (programm- technische Gründe) u. zurück auf UStartV. Beenden des Meßvorgangs und Sichern der Daten3,00 V) Space - Warten bis Ruhe auf dem Bildschirm herrscht F 1 - Start der Messungen (Strahlungsmeßgerät auf Null setzen !) UStart okay ? Enter F 10 - Ende der Messungen Daten speichern ? Enter (C:\cpa\binspec\fp\fpDatumNr.dat) Grafikfile ? Enter (C:\cpa\binspec\fp\fpDatumNr.grf) - Bildschirm "nucleus - pca" F 1 - aquire "off" (Meßbereitschaft beenden); Datenverarbeitung möglich Möglichkeit der Zwischenspeicherung des Datensatzes innerhalb des "nucleus"-Programms mit "Alt F" (Save binary file - Erzeugung eines .bin-files) oder "Alt M" (Transfer-Zwischenspeichern) Ctrl F2 - Start einer neuen Meßreihe
Alt Q Exit to DOS Enter PCA verlassen ? ja Kopieren der Daten C:\copy c:\pca\binspec\fp\fpDatum*.* a:\ auf externe Diskette Ende Norton ComanderVI. Auswertung der Daten - grafische Darstellung - Druck
Auswahl Eingabe Kommando Bemerkungen Grapher Enter Auswahl des Grafikprogramms Configure grapher Enter View characters Enter 2 Enter current path Enter c:\pca\binspec\fp\ Enter ESC übergang zur nächsten Ebene save changes ? n Enter import graph file Enter file name oder Auswahl Enter F 2 Ansicht der Kurve ESC zurück in alte Ebene------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ Möglichkeit der Bearbeitung des Graphen (Beispiel : Anfangswert der x-Achse)
format graph Enter Bearbeitung der Darstellung create or alter an axis Enter Verändern einer Achse RBS X Enter X-Achse starting value Enter Anfangswert Startwert (z.B. 200) Enter Achse von 200 keV bis Umax ESC nächst tiefere Ebene save changes ? n Enter F 2 veränderte Darstellung ESC zurück in alte Ebene ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ ESC Wechseln in tiefere Ebenen print or plot graph Enter output plot vorhanden file name oder eingeben Enter scaling factor Enter 0,9 Enter begin creating Enter warten bis wieder plot file "no" erscheint begin plotting Enter plot file Do you wish no Enter to shift... Do you wish no Enter to scale... Position paper Enter Ausdruck der and ... grafischen Darst.